无尘车间
说明：无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。由于生产工艺种类繁多，对洁净度等级要求也不同，高的很高，低的很低；对粒子粒径控制的要求也不同，范围约为0.1~5um；对…
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- 介绍
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。由于生产工艺种类繁多，对洁净度等级要求也不同，高的很高，低的很低；对粒子粒径控制的要求也不同，范围约为0.1~5um；对温湿度控制的要求相对较 高，如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃（精度±0.1~±1℃），相对湿度基数为40%（精度±2~±5℃；正压值要求的梯度级别，随着洁净度的变化而从高到低变化，差值5~10Pa。
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